표면 이물질을 빠르게 검사하는 방법(EDS분석)
표면의 성분 원소를 빠르고 효율적으로 분석하는 대표적인 분석 방법 EDS를 소개합니다
EDS를 통한 표면의 이물질 확인
이번 포스팅에서는 FE-SEM 분석 중 가장 수요가 높은 EDS 분석의 구체적인 활용 방안 중 하나에 대해 소개해 보려고 합니다. EDS 분석은 현미경 이미지와 함께 구성 원소에 대한 정보를 얻을 수 있어 많은 분야에서 활용되고 있는데요. 분석과 동시에 실시간으로 표면 성분에 대한 정보를 얻을 수 있다는 큰 장점이 있어 품질관리 및 연구/개발 업무에 다양하게 사용하고 있습니다.
EDS 분석 결과 예시
아래 이미지는 분석에 대한 이해를 돕기 위해 저희가 자체적으로 만든 시료의 표면 일부분의 이미지입니다. 금속 표면에 탄소가 많이 포함된 이물질을 바른 것인데요. 전자현미경 특성상 흑백으로만 이미지를 얻을 수 있다 보니 이물질이 있는지 없는지 여부만 확인할 수 있는 것을 알 수 있습니다.
※ 아래 그림은 의도적으로 연출이 된 것이기 때문에 이미지에서도 비교적 확인이 가능하지만, 얇은 층을 이루고 있는 경우에는 이미지로 구분이 어려운 경우도 있습니다.
이물질이 묻은 표면의 SEM image
바로 이런 경우에 이물질의 원소를 확인할 수 있는 EDS 분석이 적절한 해법이 될 수 있습니다. 동일한 위치에서 EDS 분석을 수행하면 어떻게 되는지 아래에서 함께 보겠습니다.
이물질이 묻은 표면의 EDS 이미지
원소별 Mapping 이미지
결과를 보면 금속 표면(Ni)과 이물질(C)이 극명하게 구분되고 검출된 원소가 각각 어떤 위치에 분포하고 있는지를 확인할 수 있습니다. 여기서 색(Point)의 밀집도와 밝기는 해당 원소가 많이 검출되고 있음을 의미합니다.
이렇듯 EDS는 이미지와 함께 표면을 구성하고 있는 원소를 확인할 수 있다는 큰 장점이 있습니다. 게다가 실시간으로 분석이 가능하기 때문에 아주 효율적이고 빠른 분석이 가능하죠. 게다가 EDS 분석 결과에서 표면 성분 원소 비율까지 제공해주기 때문에 경우에 따라서는 정량 분석도 가능하다는 점 참고해 주세요.
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